نوع مقاله : پژوهشی
نویسندگان
پژوهشکده پلاسما و گداخت هسته‌ای، پژوهشگاه علوم و فنون هسته‌ای، تهران، ایران
چکیده
امروزه به‌دلیل اهمیت مصرف انرژی در کاربرد سامانه‌های تولید پلاسما در صنعت، مشخصه‌یابی پارامترهای الکتریکی آن‌ها بسیار مهم است. در این مقاله، توان مصرفی سامانه تولید پلاسمای سد دی‌الکتریک سطحی با ساختار مشبک با استفاده از دو نوع دی‌الکتریک متفاوت، کوارتز و آلومینا، در ولتاژهای مختلف اندازه‌گیری و مقایسه شده است. هدف اصلی بررسی تأثیر جنس دی‌الکتریک بر میزان توان مصرفی سامانه پلاسمای سطحی مشبک در شرایط مختلف اعمال ولتاژ می‌باشد. برای اندازه‌گیری جریان تخلیه و محاسبه توان مصرفی، روش اندازه‌گیری جریان با استفاده از پیچه روگوفسکی بکار گرفته شده است که امکان ثبت دقیق جریان‌های سریع و گذرای موجود در فرآیند تخلیه پلاسما را فراهم می‌سازد. نتایج نشان می‌دهد که نوع دی‌الکتریک تأثیر قابل‌توجهی بر توان مصرفی سامانه دارد؛ به‌طوری‌که آلومینا در مقایسه با کوارتز، به‌دلیل ویژگی‌های الکتریکی و حرارتی خاص خود، منجر به کاهش توان مصرفی می‌شود. نتایج حاصل از این مقاله می‌تواند در انتخاب بهینه مواد دی‌الکتریک برای طراحی سامانه‌های پلاسما با کارایی بالا در کاربردهای مختلف صنعتی، پزشکی و زیست‌محیطی مفید واقع شود.
کلیدواژه‌ها
)