نوع مقاله : پژوهشی

نویسندگان

• نوشین داداش زاده ¹
• الناز پوررضا ²

¹ عضو هیات علمی دانشگاه آزاد واحد ارس

² دکتری، دانشکده مهندسی برق الکترونیک، دانشگاه صنعتی سهند تبریز، تبریز، ایران.

چکیده

در این مطالعه مقایسه ای، هدف ما طراحی یک راکتور تخلیه سد دی الکتریک (DBD) تحت فشار اتمسفر است. نیاز فعلی مشخص کردن پلاسما و بهینه سازی سیستم پلاسمای طراحی شده در شرایط متغیر است. شبیه سازی تک بعدی وابسته به زمان یک دستگاه DBD، هدایت شده توسط یک ولتاژ RF سینوسی با دامنه 755 کیلو ولت در 52 کیلوهرتز، در گاز آرگون نشان داده شده است. دستگاه DBD با دو الکترود، پوشیده شده توسط ماده دی الکتریک و با ثابت دی الکتریک متغیربین 2، 5و 8 در نظر گرفته شد، و پارامترهای تخلیه بر حسب زمان شبیه سازی شدند. در سراسر شکاف پلاسما برای یافتن یک ثابت دی الکتریک بهینه برای رسوب حداکثر توان. با استفاده از یک ولتاژ سینوسی به دستگاه DBD با ثابت دی الکتریک مختلف، پروفایل های میدان الکتریکی، الکترون چگالی، دمای الکترون، کسر جرمی اتم‌های آرگون، میانگین انرژی الکترون، چگالی جریان یون، چگالی جریان الکترون، پلاسما، جریان کل و رسوب توان نشان داده شده‌اند.

کلیدواژه‌ها

• راکتور سد تخلیه دی الکتریک
• چگالی الکترون
• شبیه سازی
• پلاسما
• ثابت دی الکتریک