مشخصه‌یابی الکتریکی سامانه پلاسمای سطحی مشبک با دی‌الکتریک‌های کوارتز و آلومینا در ولتاژهای مختلف با استفاده از روش اندازه‌گیری جریان با پیچه روگوفسکی

آمنه کارگریان؛ سولماز جمالی

مقالات آماده انتشار، پذیرفته شده، انتشار آنلاین از تاریخ 23 مرداد 1404

https://doi.org/10.30473/jphys.2025.74735.1243

چکیده
  امروزه به‌دلیل اهمیت مصرف انرژی در کاربرد سامانه‌های تولید پلاسما در صنعت، مشخصه‌یابی پارامترهای الکتریکی آن‌ها بسیار مهم است. در این مقاله، توان مصرفی سامانه تولید پلاسمای سد دی‌الکتریک سطحی با ساختار مشبک با استفاده از دو نوع دی‌الکتریک متفاوت، کوارتز و آلومینا، در ولتاژهای مختلف اندازه‌گیری و مقایسه شده است. هدف اصلی بررسی ...  بیشتر